在新建或改造的無塵室工程潔凈棚建設完成后，空氣一般由風扇從FFU的頂部吸入空氣，并用主過濾器和高能效過濾器對其進行過濾，過濾后的干凈空氣以0.45 m / s±20％的均勻速率在整個出風口表面送入無塵潔凈室中。形成均勻的層以允許清潔的空氣以垂直、單向的方式流動，從而確保工作區域所需的潔凈度。

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   無塵室工程潔凈棚中的氣流是影響潔凈室潔凈度的重要因素，無塵室工程潔凈棚設計的氣流速度，通常選擇在0.25--0.5 m / s的范圍內。這種氣流速度屬于微風區域，很容易被人和機器的移動所干擾。在混亂的情況下，提高風速可以減少這種干擾的影響，并保持潔凈度。但是提高風速會增加運行成本。因此如果滿足所需的潔凈度，則是特別好的設計解決方案途徑。請以風速調節實現適當的風速供應氣流，以實現經濟效益。

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   另一方面，無塵室工程潔凈棚內保持均勻的氣流，也是穩定潔凈室的清潔度的重要因素，并且如果不能保持均勻的氣流。則意味著風速將不同，尤其是在墻壁上，氣流會在墻壁上產生旋渦。實際上實現高度潔凈化實際上是非常困難的。為了在垂直層流方向上保持均勻的氣流，您需要執行以下操作：（A）打擊面的風速須沒有差異。（B）地面返回板的吸力表面上的風速須沒有差異。如果速度太低或太高（0.2m / s，0.7m / s），都會發生渦旋。在0.5 m / s的速度下，風量是均勻的。當前，普通潔凈室中的風速為0.25--0.5m / s。

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